클린룸 내 신규 EUV(Extreme Ultraviolet) 장비 설치를 위한 격자보(Grill-beam) 보강 방안을 검토함.

반도체를 만드는 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(extreme ultraviolet lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정.

장비 제작사가 제시하는 진동 및 동강성(Dynamic stiffness) 기준을 적용함.

장비 설치를 위한 보강 방안으로 하기와 같이 제안함.

장비 바닥 구조물 보강 방안에 대한 해석결과, 제시된 장비 진동기준을 만족하는 것으로 검토됨.