1. 업무 개요 클린룸 내 신규 EUV(Extreme Ultraviolet) 장비 설치를 위한 격자보(Grill-beam) 보강 방안을 검토함. 반도체 EUV 공정이란 반도체를 만드는 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(extreme ultraviolet lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정. 2. 진동 기준 장비 제작사가 제시하는 진동 및 동강성(Dynamic stiffness) 기준을 적용함. 3. 구조 보강 검토 장비 설치를 위한 보강 방안으로 하기와 같이 제안함. 격자보 보강 수평방향 구조보강 일체형 제진대 설치 - 제진대 THK. 400 mm (전단키 설치) 보조 기둥(Sub Column) 추가 - 강성조절장치 추가 EUV 설치 스판(Span) 내 주기둥과 보조기둥 일체화 작업 4. 결론 장비 바닥 구조물 보강 방안에 대한 해석결과, 제시된 장비 진동기준을 만족하는 것으로 검토됨. 설계 사양 요구 기준 평가 수평방향 x-axis 6.5 x108 N/m 5.0 x108 N/m O.K y-axis 6.0 x108 N/m O.K 수직방향 z-axis 5.0 x108 N/m O.K [...]

1. 노모그래프(Nomograph, Nomogram) 어떤 함수 관계에서 몇 개조의 그룹을 조합하여 그 값이 쉽게 읽혀질 수 있도록 되어 있는 계산 도표, 그래프를 말함. Vibration Nomograph는 그래프 내에 진동변위, 진동속도, 진동가속도를 함께 표기한 그래프임. - 진동속도 = 진동변위 × 2π × frequency - 진동가속도 = 진동속도 × 2π × frequency 상기 그래프에서 주파수(x축)별 진동속도 값은 y축 눈금으로 읽을 수 있음. 이 진동속도 값을 변환한 진동변위 값은 오른쪽 세로축의 사선 눈금을 읽어서 확인하며, 진동가속도 값은 왼쪽 세로축의 사선 눈금을 읽어서 확인함. <fig. 1>과 같이 진동속도 값이 80 μm/s [16 Hz]의 경우는 진동변위 값 0.796 μm [16 Hz]이며, 진동가속도 값은 0.804 gal [16 Hz]임. 2. 이너턴스 그래프(Inertance Graph) Receptance, Mobility, Inertance는 구조물의 진동응답 특성을 나타나는 용어로 진동응답을 변위, 속도, 가속도로 표기될 때 사용되는 용어임. Fig. 2 그래프와 같이 구조물(장비 설치바닥)에 대한 진동응답 특성을 알고 있고, 바닥에 놓여질 동하중을 아는 경우, 장비 가동시 발생하는 진동응답을 예상할 수 있음. 예시) Inertance 값이 2×10-5 (m/s2)/N @ 6.5Hz인 바닥에 1000 N @ 6.5 Hz의 [...]

1. 업무 개요 포장실 내 LCD용 Glass 이송 Robot 진동으로 인하여 발생하는 파손문제를 평가함. 2. 진동 기준 이송 Robot 설치 바닥에 대한 진동기준 및 Robot이 정상 가동하기 위한 진동관리기준을 적용함. 적용 규격 진동 기준 ISO 10137 : Workshop 4.0 cm/s2 - Line Glass 이송 로봇 (제조사) 4.9 m/s2 (0.5 G) 3. 진동 검토 로봇 가동 시 위치 별 진동 측정 결과 Glass 이송 Robot에 대한 위치별 진동측정 결과, 바닥 진동수준이 0.01 m/s2 일 경우, Robot 집게 끝단에서는 약 0.67 m/s2 진동 수준임. 이는 Robot의 진동기준 4.9 m/s2 은 만족하는 진동 수준임. Robot 집게 끝단 진동은 Robot의 가감속으로 발생하는 동하중이 바닥을 가진하여 증폭되는 것으로 판단됨. Robot 집게 끝단 진동을 저감하기 위해서는 Robot 설치 스판에 대한 동강성 보강이 요구됨. Robot 설치 바닥 보강 검토 Robot 집게 끝단 진동을 저감하기 위해 바닥 강성 보강 안을 해석적으로 검토함. [...]

1. 진동가속도레벨 (VAL, Vibration Acceleration Level) 진동의 물리량을 dB로 나타낸 것으로 사람의 감각력의 대한 변화폭을 쉽게 나타낼 수 있다. Arms : 실효치 (측정값) Aref : 기준치 (Reference Value) ※ 진동 가속도 기준치(Aref )는 “KS/ISO 1683:2014 Acoustics - Preferred reference values for acoustical and vibratory levels” 규격에서 제시하고 있음. (기본적으로 진동량 기준값을 1 m/s2로 제시하고 있으나, 구조 전달음과 관련하여 한국에서는 10 μm/s2을 사용할 수 있음.) <Table 1> 진동량에 대한 기준값 (KS/ISO 1683:2014) Quantity Reference value (기준값)a 진동 변위 (Vibratory displacement) 1 pm 진동 속도 (Vibratory velocity)b 1 nm/s 진동 가속도 (Vibratory acceleration)c 1 μm/s2 진동력 (Vibratory force) 1 μN a 어떤 진동량에 대한 레벨을 구하기 위하여 사용된 기준값은 언제나 해당 레벨과 함께 표기되어야 한다. b 구조 전달 음과 관련하여, 50 nm/s의 기준값도 사용되고 있다. 이 경우 진동 속도 레벨은 관련된 음압 레벨 및 음향세기 레벨과 근접한 값을 갖는다. c 구조 전달 음과 관련하여 10 μm/s2의 기준값도 사용되고 있다. <Table 2> Decibel Reference Levels (ISO R 1683) [...]